基于西门子PLC平台的非晶硅电池制造装备

本文摘要：1章节 太阳能作为绿色清洁能源具有普遍的应用于前景和发展潜力。目前国内太阳能行业正在蓬勃发展，主要以单晶硅，多晶硅，和非晶硅产品居多。其中非晶硅产品以价格低廉，污染小，生产成本低等优点受到普遍注目。 对非晶硅太阳能电池的生产设备的市场需求也在大大减少。还包括等离子体化学气相沉积设备(pecvd)和物理气相沉积设备(pvd)下文称之为pvd等主要设备。 本文获取了用西门子的s7-300和wincc作为pvd控制系统的方案。

1章节　　太阳能作为绿色清洁能源具有普遍的应用于前景和发展潜力。目前国内太阳能行业正在蓬勃发展，主要以单晶硅，多晶硅，和非晶硅产品居多。其中非晶硅产品以价格低廉，污染小，生产成本低等优点受到普遍注目。

对非晶硅太阳能电池的生产设备的市场需求也在大大减少。还包括等离子体化学气相沉积设备(pecvd)和物理气相沉积设备(pvd)下文称之为pvd等主要设备。

本文获取了用西门子的s7-300和wincc作为pvd控制系统的方案。　　wincc即windowscontrolcenter(视窗控制中心)，是一个功能强大的全面对外开放的上位机监控系统，既可以用作小规模非常简单的过程监控，也可以用作简单的工控领域。　　simatics7-300系列可编程控制器是西门子仅有集成自动化控制系统中的掌控核心，是其构建与对外开放特性的最重要反映，该系列平稳、可信和故障率较低，在全球自动化的各个领域具有普遍的应用于和成功经验。

2项目背景　　北京经济技术开发区的北京至诚铂阳光电设备有限责任公司，隶属于铂阳太阳能技术有限公司有限公司(铂阳)。该公司专心获取经过检验的大规模薄膜太阳能电池生产设备及整套生产线。公司由专心太阳能业务的apolloprecisionlimited在2009年11月在香港上市。其太阳能业务由一支行业领先的技术团队来领导，在薄膜技术，真空处置及仪器生产方面具有非常丰富的经验，可为客户量身自定义具备广泛应用的整线方案及设备，产品组合还包括：独特的等离子体强化化学气相沉积设备，用作光伏层的沉积。

独特的磁控溅射设备，用作沉积导电电极层。自动化整线服务，经构建的成套薄膜太阳能电池生产系统。3工艺自动化系统设计　　3.1pvd工艺　　pvd是英文physicalvapordeposition(物理气相沉积)的简写，是所指在真空条件下，使用低电压、大电流的电弧静电技术，利用气体静电使靶材冷却并使被冷却物质与气体都再次发生电离，利用电场的加快起到，使被冷却物质及其反应产物沉积在工件上。

pvd技术经常出现于二十世纪七十年代末，制取的薄膜具备高硬度、较低摩擦系数、很好的耐磨性和化学稳定性等优点。　　非晶硅电池生产的pvd工艺主要用来制作太阳能电池板的背电极，它对整个电池产品的质量起着十分最重要的起到，因此对pvd设备的掌控拒绝也比较较高。pvd设备拒绝将铝或氧化锌等腹电极材料通过磁控溅射的形式镀到电池片上，并能根据生产工艺的拒绝对飞溅射电源的功率、传动速度、喷发物压力以及气体流量等工艺参数展开调节。

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